氮化硅鐵實際上是通過氮化處理獲得的。氮化硅鐵通常以硅合金或單質硅為原料，采用氮化技術進行高溫合成，以下兩點是影響合成效果的重要因素。

　　1.硅鐵粒度。氮含量與產物的氮含量與反應溫度的關系。（d50）為13.41μm樣氮含量隨溫度的升高而逐漸增加。中位徑隨溫度的升高而增加（d50）為8.023μm和5.229μm樣氮含量變化不明顯，不規則。各溫度段樣品FS5h產品氮含量明顯高于樣品FS10h、FS15h產品氮含量。這表明硅鐵和氮的反應會釋放大量的熱量，Fe它起著催化劑的作用。硅鐵越薄，樣品的孔隙率越小，比表面積越大，反應越快，反應越強烈。但硅鐵顆粒之間的燒結越嚴重，影響氮氣的擴散，氮化效果越差。粗粒試樣小于表面積，氮化反應更穩定。隨著溫度的升高，氮化更充分。

　　2.氮化溫度。粒度小于744m的FeSi以75粉為原料，濃度為5％的聚乙烯醇為粘合劑。添加膠水的比例為8％。在氧化鋁研究體中研磨上述混合物，攪拌均勻，加壓造粒，用一系列技術加工成長坯料。然后，在1400、1500、1600和1700℃的溫度和0.9MPa氮化實驗在氮氣下進行。使用的氮氣是99.99％的高純氮。保溫時間為3小時。當溫度為1400時℃和1500℃氮化物的物相主要是α-Si3N4、殘留的Si和FeSi2。當溫度為1600℃和1700℃氮化物的物相主要是α-Si3N4、β-Si3N4和Fe3Si。在溫度逐漸升高的過程中，α-Si3N4逐漸減少，β-Si3N4.高溫氮化比低溫氮化更完整。Si3N4顯微形狀為針柱狀和長柱狀。