氮化硅陶瓷材料是可以進行化合反應的，從而就可以得到氮化硅了，并且對于單質硅的粉末還可以進行滲氮處理的，我們現在大量的生產氮化硅粉末，但是如果對硅鐵的原料純度低會使得生產出的氮化硅含有雜質硅酸鹽和鐵。用二胺分解法合成的氮化硅是無定形態的，需要進一步在1400-1500°C的氮氣下做退火處理才能將之轉化為晶態粉末，目前二胺分解法在重要性方面是僅次于滲氮法的商品化生產氮化硅的方法。碳熱還原反應是制造氮化硅的簡單途徑，也是工業上制造氮化硅粉末符合成本效益的手段。