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氮化硅在使用的時(shí)候可以在很廣泛的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行使用的,并且可以直接進(jìn)行化合反應(yīng)就可以得到氮化硅; 也可用二亞胺合成或用碳熱還原反應(yīng)在1400-1450°C的氮?dú)鈿夥障潞铣桑簩?duì)單質(zhì)硅的粉末進(jìn)行滲氮處理的合成方法是在二十世紀(jì)50年代隨著對(duì)氮化硅的重新“發(fā)現(xiàn)”而開發(fā)出來的。也是一種用于大量生產(chǎn)氮化硅粉末的方法。但如果使用的硅原料純度低會(huì)使得生產(chǎn)出的氮化硅含有雜質(zhì)硅酸鹽和鐵。用二胺分解法合成的氮化硅是無定形態(tài)的。
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